クリーンウェアの無塵洗濯やICトレイやウエハーケースのクリーン洗浄を提供しています。

洗浄ビジネス

精密洗浄

半導体製造や搬送に使用されるトレイやウエハーケースを、クリーンルーム内で純水・超純水を使用してクリーン洗浄(パーティクルの除去)します。リユース品も洗浄します。

特にICチップトレイ・ガラス用チップトレイ洗浄は、洗浄時間が短く緊急時は即日出荷を行うなど、お客様のニーズにお応えして、多くのユーザー様に満足頂いております。

洗浄対象品

ハードトレイ類(射出成型樹脂トレイ)
  1. 1.JEDECサイズトレイ(デバイス搬送用等)
  2. 2.CUSTOMトレイ(デバイス搬送用、ガラス搬送用等)
  3. 3.チップトレイ(ICチップ、ガラスチップ搬送用 2inch 3inch 4inch等各種)
    • ※LCDドライバー用チップトレイ、ガラスチップ用トレイでは多くの洗浄実績があります。
    • ※5µmm以上或いは10µmm以上の粒子無しの実績があります。
ソフトトレイ類(真空成型樹脂トレイ)
  1. ※通常トレイの高さ40mmまでトレイ用洗浄機で可能。(これ以上の高さもご相談ください。)
ウエハーケース・レチクルケース類
  1. 1.縦置き型ウエハーキャリアケース(信越製ミライアル製等12inchFOSBサイズも洗浄可能)
  2. 2.縦置き型ウエハーキャリア
  3. 3.コインスタック型ウエハーキャリアケース(プロトスキャリア等12inchも洗浄可能)
  4. 4.SMIF Pod
その他樹脂容器・金属容器
  1. ご相談に応じます。

主要設備

  • クリーンルーム(0.5µmクラス100、クラス1000、クラス10000)
  • 純水・超純水設備(UF膜除濁設備、イオン交換樹脂設備、RO膜設備)
  • トレイ用高速洗浄乾燥機(洗浄環境0.5µmクラス1000)
  • ウエハーケース用浸漬自動洗浄機(洗浄包装環境0.5µmクラス100)
  • クリーンオーブン(0.5µmクラス100)
  • クリーンブース(暗室型)、クリーンベンチ、HEPA付き作業台
  • イオナイザー設備
  • 減圧ヒートシーラー
  • 水中パーティクル測定器
  • マイクロスコープ

洗浄方法

  • トレイ類 : 純水中超音波洗浄(薬品類の使用は致しません)
  • ウエハーケース類 : 超純水中超音波洗浄
精密洗浄概略フロー図

精密洗浄概略フロー図

ウエハーケース洗浄/トレイ洗浄

主要設備

  • 超純水への水中落下パーティクルの測定検査
  • マイクロスコープ・拡大鏡での残留粒子検査
  • 集光灯目視検査
  • 目視による外観検査

お見積もりについて

お見積りをご希望の場合は、以下の条件をご確認の上、
お問い合わせフォームまたはお電話でお問い合わせください。

  1. 洗浄品の種類
  2. 新品かリユースか
  3. 洗浄品の大きさ
  4. 洗浄後の希望品質
  5. 数量(一回当たり、月間の数量)
  6. 包装条件
  7. 洗浄品納品先
  8. その他ご希望
  • お見積もり・お問い合わせはこちらから
  • お電話でもお気軽にご相談ください。
    精密クリーニンググループ tel:097-523-1226 fax:097-523-0086

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